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對低壓真空滲碳爐的主要優點和特點進行了比較，以便更全面地掌握和理解。
常規滲碳工藝的溫度受爐子性能的影響，更大使用溫度限制在950℃以內。然而，真空滲碳爐技術的改進可以將更大使用溫度提高到1050℃。隨著溫度的升高，滲碳速度可以大大提高，從而大大縮短同樣滲碳深度的時間，有利于提高生產效率和降低生產成本。提高低壓真空滲碳的使用溫度為提高生產效率提供了前提。因此，在不影響零件力學性能的情況下，采用更高的滲碳溫度可以顯著提高滲碳速度。
通過AISI8620鋼制造重載傳動齒輪，可以看出，為了達到相同的滲碳深度和真空滲碳深度，不僅真空滲碳比普通滲碳節省74分鐘(生產周期只有普通滲碳的82%)，而且齒輪經過真空滲碳氣淬硬化后，表面仍能保持金屬本色，無內氧化，變形大大減少，為滲碳后期的磨削加工節省了難度和時間，質量水平和使用可靠性成倍提高(據了解，目前汽車行業的高端低壓齒輪箱使用齒輪需要34分鐘。
大量實驗數據證明，低壓滲碳技術的優異結果已經被用戶所接受，尤其是在常規滲碳難以解決的深層滲碳質量差(網狀碳化物在長期滲碳過程中產生)的問題上，真空滲碳的實際滲碳時間大大降低，其優勢非常明顯。
有些人將真空滲碳與常規滲碳相同的滲碳有效硬化層進行比較。
與常規滲碳相比，真空滲碳可以獲得相同的滲碳有效硬化層。通過對比大量滲碳齒輪，發現低壓真空滲碳層(ceng)的(de)高硬(ying)(ying)化區域一般(ban)可(ke)以達到常規(gui)滲(shen)(shen)碳的(de)兩倍以上。SIMUWU格航真(zhen)(zhen)空(kong)認為(wei)，這一特性可(ke)以保(bao)證齒(chi)(chi)輪在(zai)滲(shen)(shen)碳和磨削后能夠保(bao)持相當有(you)效(xiao)的(de)硬(ying)(ying)化層(ceng)。此外，低壓(ya)真(zhen)(zhen)空(kong)滲(shen)(shen)碳避免了(le)(le)內氧化，滲(shen)(shen)層(ceng)質量(liang)更好(hao)，保(bao)證了(le)(le)齒(chi)(chi)輪的(de)可(ke)靠性和使用壽(shou)命。